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实验室设备介绍

三维形貌测量激光显微镜

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型号:VK-X200

公司:基恩士Keyence

国别:日本

主要用途:三维显微形貌测量(如测量距离、面积、轮廓、粗糙度、平面度等)

技术参数:

408nm半导体激光

测量精度0.001um

放大倍数200~24000(3000倍SEM)

仿彩色SEM,16 bit 激光彩色观察

非接触式扫描,可用于测量软质表面

最大样品高度28mm(使用隔片和机架可达到128mm)

载物台最大负荷:5Kg

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